| 发明名称 | 电子装置制造室及其形成方法 | ||
| 摘要 | 在第一方面中，提供了一种第一多部件室。该第一多部件室包括：(1)部件，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧部件，适合与部件的第一侧面连接；以及(3)第二侧部件，适合与部件的第二侧面连接。当部件、第一侧部件和第二侧部件连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域。还提供了许多其它内容。 | ||
| 申请公布号 | CN101866828A | 申请公布日期 | 2010.10.20 |
| 申请号 | CN201010194902.5 | 申请日期 | 2005.06.01 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | S·库利塔;W·T·布劳尼干;M·伊纳贾瓦 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆嘉 |
| 主权项 | 一种多部件电子装置制造工具，包括：数个电子装置制造工具部件的第一部件；和该数个电子装置制造工具部件的至少一第二部件，该至少一第二部件与该第一部件相连，从而构成多部件电子装置制造工具；其中，该数个电子装置制造工具部件中的每一个的尺寸使得多部件电子装置制造工具部件中的每一个符合运输规定；以及经组合的该多部件电子装置制造工具的总体尺寸不能使得该多部件电子装置制造工具符合运输规定。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||