用于监控等离子体的方法、用于实施该方法的装置、该方法用于将薄膜淀积到PET中空体上的用途

摘要

本发明涉及一种等离子体成分的监控方法，所述等离子体产生自确定的前体，用于将薄膜淀积到聚合物材料上。所述方法包括接收由该等离子体发射的光强度以及包括：选择第一参考波长范围的步骤，其选自其中不存在寄生化学物种的明显信号的等离子体发射光谱区域，即，其不是所确定前体的一部分并因此通常不存在于该等离子体中，且其在该等离子体中的存在影响淀积的薄膜性质；选择第二波长范围的步骤，所述第二波长范围选自其中可能存在寄生化学物种的明显信号的等离子体发射光谱区域；同时在两个选定的波长范围的每一个中获得由等离子体发射的光强度的步骤；和基于这些光强度计算至少一个监控系数的步骤。

主权项

一种等离子体成分的监控方法，所述等离子体产生自前体，所述前体选自烷烃、烯烃、炔烃和芳烃，用于将薄膜淀积到聚合物材料上，所述方法包括测量由该等离子体发射的光强度，该方法的特征在于其包括：选择第一波长范围的步骤，所述第一波长范围称为参考范围，其选自该等离子体的发射光谱区域，在该光谱区域中不存在所谓寄生化学物种的明显信号特征，所述寄生化学物种是一种化学物种，，该寄生化学物种不成为前体的一部分并因此通常不存在于该等离子体中，且其在该等离子体中的存在影响淀积的薄膜性质；选择第二波长范围的步骤，所述第二波长范围选自该等离子体的发射光谱区域，其中可能存在寄生化学物种的明显信号特征；所述第一和第二波长范围具有基本上对应于两个波长λ1和λ2的非常小的谱宽；同时在两个选定的波长范围的每一个中获得由该等离子体发射的光强度的步骤；和由所述光强度，通过计算所述第一波长λ1和第二波长λ2的发射强度之差的函数计算至少一个监控系数的步骤。