放电等离子体极紫外线光源中的主脉冲电源

摘要

放电等离子体极紫外线光源中的主脉冲电源，具体涉及一种用于极紫外光刻光源的电源，解决了目前无法基于放电等离子体技术实现极紫外线光源的电源这一问题。本发明所述的主脉冲电源由初级充电部分、储能及脉冲形成部分、脉冲压缩部分和毛细管放电单元组成，电网的三相电压输出端的三端分别与初级充电部分的三相电压输入端的三端相连，初级充电部分的电压输出端与储能及脉冲形成部分的电压输入端相连，储能及脉冲形成部分的电压输出端与脉冲压缩部分的电压输入端相连，脉冲压缩部分的脉冲输出端与毛细管放电单元的脉冲输入端相连。本发明基于等离子体技术将极紫外线光源中的主脉冲电源进行实现，用于极紫外光刻技术。

主权项

放电等离子体极紫外线光源中的主脉冲电源，其特征在于：它由初级充电部分(1)、储能及脉冲形成部分(2)、脉冲压缩部分(3)和毛细管放电单元(4)组成，电网的三相电压输出端的三端分别与初级充电部分(1)的三相电压输入端的三端相连，初级充电部分(1)的电压输出端与储能及脉冲形成部分(2)的电压输入端相连，所述的脉冲压缩部分(3)由电容C1、电容C2、电容C3、第一磁开关(MS1)、第二磁开关(MS2)和第三磁开关(MS3)组成，储能及脉冲形成部分(2)的一个高电压输出端与电容C1的一端、第一磁开关(MS1)的一端连接，第一磁开关(MS1)的另一端与电容C2的一端、第二磁开关(MS2)的一端相连，第二磁开关(MS2)的另一端与电容C3的一端、第三磁开关(MS3)的一端相连，第三磁开关(MS3)的另一端与毛细管放电单元(4)的高电压输入端相连，毛细管放电单元(4)的低电压输入端、电容C3的另一端、电容C2的另一端、电容C1的另一端分别与储能及脉冲形成部分(2)的一个低电压输出端相连。