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发明名称 MEMS COMPONENT, METHOD FOR PRODUCING A MEMS COMPONENT AND METHOD FOR HANDLING A MEMS COMPONENT
摘要
申请公布号 KR20100110371(A) 申请公布日期 2010.10.12
申请号 KR20107018704 申请日期 2009.01.21
申请人 EPCOS AG 发明人 PAHL WOLFGANG;FEIERTAG GREGOR;LEIDL ANTON
分类号 B81B7/00;B81C1/00 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
主权项
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