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发明名称 PRÜFEINRICHTUNG, PRÜFVERFAHREN, HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE, PRÜFSIMULATOR UND PRÜFSIMULATIONSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE602006016417(D1) 申请公布日期 2010.10.07
申请号 DE200660016417T 申请日期 2006.03.07
申请人 ADVANTEST CORP. 发明人 TADA, HIDEKI;HORI, MITSUO;KATAOKA, TAKAHIRO;SEKIGUCHI, HIROYUKI
分类号 G01R31/319;G01R31/28 主分类号 G01R31/319
代理机构 代理人
主权项
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