齐焦检查方法及齐焦检查仪

摘要

本发明的目的是提供一种可以提高齐焦检查精度的齐焦检查方法及装置。该齐焦检查方法，是利用平行光打出的物像通过半透半反棱镜透射，再经过被检物镜在其焦面上成像，利用可沿被检物镜轴向移动的反射镜捕捉的成像作为反射物像反射入被检物镜，通过被检物镜后经半透半反棱镜转向，进入目镜，使得反射物像成像于人眼；通过调节反射镜在被检物镜轴向的移动位置，使得反射物像的成像清晰；根据反射镜相对于标准齐焦位置的距离，判断被检物镜的齐焦程度。

主权项

一种显微镜物镜的齐焦检查方法，其特征是：平行光打在暗场十字分划板上，形成十字成像，该十字成像作为物像经反射棱镜后通过半透半反棱镜透射，再经过被检物镜在其焦面上成像，利用可沿被检物镜轴向移动的平面反射镜捕捉的成像作为反射物像反射入被检物镜，通过被检物镜后经半透半反棱镜转向到三角棱镜，再进入目镜，使得反射物像成像于人眼；通过调节平面反射镜在被检物镜轴向的移动位置，使得反射物像的成像清晰；根据平面反射镜相对于标准齐焦位置的距离，判断被检物镜的齐焦程度。