| 发明名称 |
RADIATION SYSTEM AND METHOD, AND A SPECTRAL PURITY FILTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100106352(A) |
申请公布日期 |
2010.10.01 |
| 申请号 |
KR20107012543 |
申请日期 |
2008.11.07 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
SCHIMMEL HENDRIKUS GIJSBERTUS;VAN EMPEL TJARKO ADRIAAN RUDOLF;SWINKELS GERARDUS HUBERTUS PETRUS MARIA;VAN HERPEN MAARTEN MARINUS JOHANNES WILHELMUS;LABETSKI DZMITRY |
| 分类号 |
G03F7/20;G21K1/06;H05G2/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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