发明名称 | 金和镍的选择蚀刻液 | ||
摘要 | 本发明提供可以用一液蚀刻金和镍共存的材料、进而能够控制金和/或镍的蚀刻速率的蚀刻方法及蚀刻液。在碘系蚀刻液中加入无机酸或在常温为固体的有机酸、和/或有机溶剂,调节各成分的配合比形成蚀刻液,用来蚀刻金和/或镍。 | ||
申请公布号 | CN101845630A | 申请公布日期 | 2010.09.29 |
申请号 | CN201010130300.3 | 申请日期 | 2010.03.23 |
申请人 | 关东化学株式会社 | 发明人 | 高桥秀树;永岛和明 |
分类号 | C23F1/16(2006.01)I;C23F1/26(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/16(2006.01)I |
代理机构 | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人 | 徐江华 |
主权项 | 一种对金和镍共存的材料选择性地蚀刻金和/或镍的方法,包括对含有碘化物和碘、以及酸和/或有机溶剂的蚀刻液中的各成分的配合比进行调整。 | ||
地址 | 日本国东京都中央区日本桥本町3丁目2番8号 |