发明名称 金和镍的选择蚀刻液
摘要 本发明提供可以用一液蚀刻金和镍共存的材料、进而能够控制金和/或镍的蚀刻速率的蚀刻方法及蚀刻液。在碘系蚀刻液中加入无机酸或在常温为固体的有机酸、和/或有机溶剂,调节各成分的配合比形成蚀刻液,用来蚀刻金和/或镍。
申请公布号 CN101845630A 申请公布日期 2010.09.29
申请号 CN201010130300.3 申请日期 2010.03.23
申请人 关东化学株式会社 发明人 高桥秀树;永岛和明
分类号 C23F1/16(2006.01)I;C23F1/26(2006.01)I 主分类号 C23F1/16(2006.01)I
代理机构 北京高文律师事务所 11359 代理人 徐江华
主权项 一种对金和镍共存的材料选择性地蚀刻金和/或镍的方法,包括对含有碘化物和碘、以及酸和/或有机溶剂的蚀刻液中的各成分的配合比进行调整。
地址 日本国东京都中央区日本桥本町3丁目2番8号