基板检查装置

摘要

本发明提供一种基板检查装置，其借由设置探测器框储料器而防止占据面积的增大。该基板检查装置(1)包括：主室(2)，其在真空状态下进行基板的检查；负载固定室(3)，其在与大气侧之间及与主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器(4)，其用于存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框(20)；而且，其探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)或主室(2)的上部。借由采用将探测器框储料器(4)配置在负载固定室(3)上或主室(2)上的构成，而使探测器框储料器(4)所需的占据面积，可直接利用负载固定室(3)或主室(2)的占据面积，能够防止占据面积的增大。

主权项

一种基板检查装置，为一种在真空状态下对基板施加检查信号而进行基板检查的基板检查装置，其特征在于包括：主室，在真空状态下进行基板的检查；负载固定室，在与大气侧之间及与前述主室之间进行基板的搬入搬出；探测器框储料器，存储与基板进行电气接触并施加检查信号的探测器框；其中，前述探测器框储料器配置在前述负载固定室的上部；前述负载固定室具有开关自如的顶板；前述顶板在上部设置有前述探测器框储料器，在下部设置有运送前述探测器框的运送机构；该基板检查装置还具备使前述顶板和前述探测器框储料器自如升降的升降机构；该基板检查装置是利用前述升降机构的升降动作和前述运送机构的运送动作，在负载固定室和探测器框储料器之间进行探测器框的更换；在前述主室的上部具有临时保持探测器框的临时置放部；前述运送机构是通过前述临时置放部而进行与探测器框储料器之间的探测器框的更换。