| 发明名称 | 熔融盐浴、制备所述熔融盐浴的方法和钨膜 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种熔融盐浴，其含有钨且具有100ppm以下的含水量和500ppm以下的含铁量。本发明还提供制备所述熔融盐浴的方法和钨膜，由所述熔融盐浴能够稳定地沉积高品质的钨。 | ||
| 申请公布号 | CN101845643A | 申请公布日期 | 2010.09.29 |
| 申请号 | CN201010144239.8 | 申请日期 | 2010.03.29 |
| 申请人 | 住友电气工业株式会社 | 发明人 | 新田耕司;真岛正利;稻沢信二 |
| 分类号 | C25D1/00(2006.01)I;C25D13/00(2006.01)I | 主分类号 | C25D1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 陈海涛;樊卫民 |
| 主权项 | 一种含钨的熔融盐浴，所述熔融盐浴的含水量为100ppm以下，含铁量为500ppm以下。 | ||
| 地址 | 日本大阪府大阪市 | ||