| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100103627(A) |
申请公布日期 |
2010.09.27 |
| 申请号 |
KR20107016261 |
申请日期 |
2008.12.18 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
BRILLHART PAUL L.;FOVELL RICHARD CHARLES;TAVASSOLI HAMID;ZHOU XIAOPING;BUCHBERGER JR. DOUGLAS A. |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/00;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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