SCANNING FORCE MICROSCOPE

摘要

Die Erfindung betrifft ein Rasterkraftmikroskop, das für verschiedene Untersuchungen an Oberflächen von Proben einsetzbar ist. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Rasterkraftmikroskop zur Verfügung zu stellen, mit dem Oberflächenbereiche von Proben detektierbar sind, die in Bezug zur mittleren Längsachse eines Federbalkens des Rasterkraftmikroskops in einem steil geneigten Winkel ausgerichtet sind. Bei einem erfindungsgemäßen Rasterkraftmikroskop ist mindestens eine Sensorspitze an einem Federbalken angeordnet, deren sensitiver Bereich in einem Abstand zum Federbalken angeordnet ist. Dabei ist der an einer Stirnseite ge- haltene und mit mindestens einem Aktuator in Schwingung versetzbare Federbalken mit Sensorspitze und Probe relativ zueinander entlang mindestens einer Achse bewegbar. Der sensitive Bereich einer Sensorspitze und/oder der Fußpunkt einer Sensorspitze sind am Federbalken in einem Abstand und neben der mittleren Längsachse des Federbalkens angeordnet. Allein oder zusätzlich kann die Sensorspitze in Bezug zur mittleren Längsachse des Federbalkens in einem Winkel < 90° abgewinkelt oder gekrümmt sein.