发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR ELECTROMECHANICAL POSITIONING
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit wenigstens einem röhrenförmigen Piezoelement zur elektromechanischen Positionierung eines Läufers im Innern des Piezoelements. Diese ist gekennzeichnet durch wenigstens ein mit dem Piezoelement verbundenes elastisches Reibungsmittel zur Ausübung einer Normalkraft auf den Läufer. Ein Verfahren zur Steuerung der Vorrichtung ist offenbart.</p>
申请公布号 WO2010105592(A1) 申请公布日期 2010.09.23
申请号 WO2010DE00246 申请日期 2010.03.06
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH;VOIGTLAENDER, BERT;COENEN, PETER;CHEREPANOV, VASILY 发明人 VOIGTLAENDER, BERT;COENEN, PETER;CHEREPANOV, VASILY
分类号 G01Q10/04;B23Q1/34;H01L41/09 主分类号 G01Q10/04
代理机构 代理人
主权项
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