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发明名称 SOI SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1986219(A4) 申请公布日期 2010.09.22
申请号 EP20070708229 申请日期 2007.02.08
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 AKIYAMA, SHOJI;KUBOTA, YOSHIHIRO;ITO, ATSUO;TANAKA, KOICHI;KAWAI, MAKOTO;TOBISAKA, YUUJI
分类号 H01L21/02;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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