基板湿制程设备的复向移动喷洗机构

摘要

本实用新型提供一种基板湿制程设备的复向移动喷洗机构，其包含一结合在机台一侧的第一轴承座，一结合在机台另一侧的第二轴承座，及一结合在第一轴承座与第二轴承座之间的管路；该第一轴承座设有轴孔，轴孔的内孔壁设有凸螺纹，该管路结合有喷嘴，且一端结合有可轴向活动及转动状穿设在第一轴承座轴孔中的螺杆，该螺杆设有与凸螺纹匹配结合的凹螺纹。借此，本实用新型基板湿制程设备的复向移动喷洗机构，可经由驱动装置带动该管路直线往复移动，并在直线往复移动时利用凸螺纹与凹螺纹结构同步产生往复滚转作动，进而达成结构精简及多向全面清洗的目的。

主权项

一种基板湿制程设备的复向移动喷洗机构，该复向移动喷洗机构结合在一机台，被一驱动装置驱动而能直线往复移动及往复滚转作动进行喷洗，其特征在于：该复向移动喷洗机构具有一组以上结合在机台一侧的第一轴承座，一组以上结合在机台另一侧与第一轴承座相对应的第二轴承座，及一支以上结合在第一轴承座与第二轴承座之间的管路；该第一轴承座设有一轴孔，在轴孔的内孔壁设有凸螺纹；该管路设有喷嘴，且该管路一端设有一可轴向活动及转动状穿设在第一轴承座轴孔中的螺杆，该螺杆设有与凸螺纹相匹配结合的凹螺纹，该管路的另一端结合在第二轴承座。