| 发明名称 | 在线型晶圆输送装置 | ||
| 摘要 | 一种在线型晶圆输送装置，在该晶圆输送装置的结构中包括：用于输入和输出晶圆的装载锁定室(51)、具有第一输送机构(54a)的第一输送模块(53a)、第一处理模块(52a)、具有第二输送机构(54b)的第二输送模块(53b)、以及第二处理模块(52b)被顺次串联。由第一输送机构在装载锁定室和第一处理模块之间输送晶圆(55)，由第二输送机构在第一处理模块和第二处理模块之间输送晶圆(55)。 | ||
| 申请公布号 | CN101842890A | 申请公布日期 | 2010.09.22 |
| 申请号 | CN200780101305.X | 申请日期 | 2007.11.09 |
| 申请人 | 佳能安内华股份有限公司 | 发明人 | 渡边直树;爱因斯坦·诺埃尔·阿巴拉;大卫·朱利安托·贾亚普拉维拉;榑松保美 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种在线型晶圆输送装置，其中：用于输入和输出晶圆的装载锁定室、具有第一输送机构的第一输送模块、第一处理模块、具有第二输送机构的第二输送模块、以及第二处理模块被顺次串联，其中，所述第一输送机构在所述装载锁定室和所述第一处理模块之间输送晶圆，所述第二输送机构在所述第一处理模块和所述第二处理模块之间输送晶圆。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||