| 发明名称 | 利用定量测量电弧事件的概率性模型进行电弧探测的宽带采样应用 | ||
| 摘要 | 一种用于等离子体发生系统的电弧探测系统，包括：射频(RF)传感器，该RF传感器基于与等离子体室相连通的(RF)电源信号的电特性产生相应的第一信号和第二信号。相关模块基于所述第一信号和所述第二信号产生电弧探测信号。所述电弧探测信号指示所述等离子体室中是否正在发生电弧，并且该电弧探测信号被用来改变所述RF电源信号的特征以熄灭所述电弧。 | ||
| 申请公布号 | CN101843178A | 申请公布日期 | 2010.09.22 |
| 申请号 | CN200880114415.4 | 申请日期 | 2008.11.13 |
| 申请人 | MKS仪器有限公司 | 发明人 | 戴维·J·库莫 |
| 分类号 | H05H1/24(2006.01)I;G01R29/00(2006.01)I;H01H9/30(2006.01)I;H01J23/00(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 罗正云;王琦 |
| 主权项 | 一种用于等离子体发生系统的电弧探测系统，包括：射频(RF)传感器，基于与等离子体室相连通的RF电源信号的电特性产生相应的第一信号和第二信号；以及分析模块，基于所述第一信号和所述第二信号产生电弧探测信号，并且基于所述第一信号和所述第二信号确定所述电弧的估计能量，其中所述电弧探测信号指示所述等离子体室中是否正在发生电弧，并且该电弧探测信号被用来改变所述RF电源信号的特征以熄灭所述电弧。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||