基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置，其处理槽(1)由以下部分构成：矩形下部框体(2)，具有在上表面上形成了第1基准面(18)的多个连接构件(9)，并以预定的间隔架设这些连接构件；支柱部件(4)，下端被连接、立设在下部框体的4个拐角部；上部框体(3)，4个拐角部被连接、设置在支柱部件上端部上；侧壁部件(11)，设置在以与支柱部件的高度尺寸相对应的间隔沿上下方向分离的下部框体和上部框体所构成的4个侧面上，在位于预定方向上的一对侧面中的一方形成有基板的送入口，在另一方上形成有上述基板的送出口；输送单元(29)，以第1基准面为基准而被安装，向着送出口输送从送入口送入到内部的基板；底部件(21a、21b)，堵塞下部框体的开口部分；顶板部件(25)，堵塞上部框体的开口部分。

主权项

一种基板处理装置，具有处理槽，用来处理在该处理槽内输送的基板，其特征在于，上述处理槽具有：矩形的下部框体，具有在上表面上形成了第1基准面的多个连接构件，并以预定的间隔架设这些连接构件；支柱部件，下端部被连接、立设在该下部框体的4个拐角部；上部框体，被形成为大小与上述下部框体大致相同的矩形，4个拐角部被连接、设置在上述支柱部件的上端部上；侧壁部件，设置在以与上述支柱部件的高度尺寸相对应的间隔沿上下方向分离的上述下部框体和上述上部框体所构成的4个侧面上，在位于预定方向上的一对侧面中的一方形成有上述基板的送入口，在另一方形成有上述基板的送出口；输送单元，以上述连接构件的第1基准面为基准而被安装，向着上述送出口输送从上述送入口送入到内部的基板；底部件，堵塞上述下部框体的开口部分；以及顶板部件，堵塞上述上部框体的开口部分。