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Das erfindungsgemäße Verfahren zur Ermittlung der Erosion auf einer Oberfläche eines Werkstückes in Folge des Aufbringens von Rillenstrukturen mittels eines ECM Verfahrens umfasst die Schritte: Abtastung der Oberfläche entlang einer Messstrecke, wobei mindestens zwei benachbarte Rillenstrukturen durch die Abtastung erfasst werden, Erfassen eines Tiefenprofils der Oberfläche bestehend aus einer Vielzahl von entlang der Messstrecke aufgenommenen Messwerten, Ausrichten der Messwerte in Bezug auf eine Bezugslinie, Identifizieren und Selektieren von Bereichen des Tiefenprofils zwischen den Rillenstrukturen, Ermitteln eines entlang der Messstrecke zu erwartenden theoretischen Tiefenprofils durch mathematische Approximation, Ermitteln der erwarteten theoretischen Erosionsfunktion durch Überlagerung theoretischer Tiefenprofile, Anpassen der erwarteten theoretischen Erosionsfunktion an die selektierten Messdaten zwischen den Rillenstrukturen durch einen mathematischen Algorithmus, und Ermitteln der maximalen Erosion aus dem Ergebnis der Anpassung.
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