阵列基板及其制造方法和液晶面板

摘要

本发明涉及一种阵列基板及其制造方法和液晶面板。该阵列基板的钝化层上形成有沟槽，且沟槽对应形成在相邻的两像素电极之间；沟槽的深度小于钝化层的厚度。该方法包括：在衬底基板上形成多薄膜层的图案；在形成多薄膜层的衬底基板上形成钝化层；在钝化层上形成钝化层过孔和上述沟槽；在形成沟槽的钝化层上沉积透明导电膜层；采用构图工艺形成矩阵形式的多个像素电极。本发明的液晶面板包括本发明的阵列基板。本发明在像素电极区域之外的钝化层上形成沟槽，使得像素电极材料层可以在沟槽的边缘处形成断层，减少或避免相邻像素电极的连通短路，从而提高成品率。

主权项

一种阵列基板，包括衬底基板及其上的多薄膜层，所述多薄膜层包括栅极扫描线、数据扫描线和薄膜晶体管，在所述多薄膜层上覆盖有钝化层，所述钝化层上有矩阵形式的多个像素电极，其特征在于：所述钝化层上形成有沟槽，且所述沟槽对应形成在相邻的两个像素电极之间；所述沟槽的深度小于所述钝化层的厚度。