一种磁隧道结氧化铝隧穿层的制备方法

摘要

本发明公开了一种磁隧道结隧穿层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：①先镀制所需隧穿层总厚度2/5的金属Al层；②镀制完成后，放入氧氩比为1∶2的混合气体中，将金属Al层氧化为Al2O3；③当步骤②氧化完成后，在生成的Al2O3薄膜上继续沉积所需隧穿层总厚度3/5的金属Al层；④当步骤③镀制完成后，同样在氧氩比为1∶2的混合气体中，将步骤③镀制的金属Al层氧化为Al2O。该制备方法能克服现有技术中所存在的缺陷，生成完全氧化的氧化铝隧穿层，提高TMR效应。

主权项

一种磁隧道结隧穿层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：①先镀制所需隧穿层总厚度2/5的金属Al层；②镀制完成后，放入氧氩比为1∶2的混合气体中，将金属Al层氧化为Al2O3；③当步骤②氧化完成后，在生成的Al2O3薄膜上继续沉积所需隧穿层总厚度3/5的金属Al层；④当步骤③镀制完成后，同样在氧氩比为1∶2的混合气体中，将步骤③镀制的金属Al层氧化为Al2O。