| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING AN IMAGE USING A FIRST MINIMUM BOTTOM ANTIREFLECTIVE COATING COMPOSITION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20100099311(A) |
申请公布日期 |
2010.09.10 |
| 申请号 |
KR20107016112 |
申请日期 |
2003.01.03 |
| 申请人 |
AZ ELECTRONIC MATERIALS (JAPAN) K.K. |
发明人 |
NEISSER MARK O.;OBERLANDER JOSEPH E.;TOUKHY MEDHAT A.;SAKAMURI RAJ;DING LEE SHUJI |
| 分类号 |
G03F7/09;G03F7/11;G03F7/039;G03F7/095;G03F7/20;G03F7/32;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/09 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
