一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉

摘要

一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉，涉及硅单晶炉配套设备，包括料筒(7)，料筒(7)设有上端外表面向内延伸的凸台(8)，料筒(7)的底边内翻并卡设一硅片(6)，压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内，压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5)，压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3)，通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接，另一端和操纵机构滑轮(1)连接。本发明，结构简单，能够在不开炉的条件下，连续向石英坩埚内投料，使得硅单晶炉产量和成品率增高，降低能耗和成本。

主权项

一种硅单晶炉连续投料装置，其特征在于：包括由圆柱形的顶部钢筒、圆柱形的中部钢筒和倒置的锥台形的底部钢筒三部分组成的料筒(7)，顶部钢筒的直径比中部钢筒大，顶部钢筒的底边设有向内延伸的凸台(8)，凸台(8)的内侧和中部钢筒的顶边相连，中部钢筒的底边和底部钢筒的顶边相连，底部钢筒的底边内翻并卡设一硅片(6)，压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内，压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5)，压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3)，通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接，另一端和操纵机构滑轮(1)连接。