一种集成的金属-玻璃封接方法

摘要

一种集成的金属-玻璃封接方法，属于金属与玻璃封接领域。工艺步骤为：将欲封接的可伐合金底盘和引线经丙酮和酒精中清洗，然后烘干；将烘干的可伐合金底盘和引线与硅硼硬玻璃直接装配；装配产品首先在450～700℃的湿N2中氧化1～50min，然后以5～15℃/min的速率升温，在900～1050℃的弱还原气氛中保温5～60min，最后以5～15℃/min的速率冷却至250～200℃。优点在于，省去了传统金属-玻璃封接工艺中的高温脱碳出气工序，并将氧化和熔封工序集成在一个过程中完成，可用于可伐合金与DM305、DM308、BH-G/K和Elan19等硅硼硬玻璃的匹配封接，封接件的气密性好、结合强度高且产品的一致性好。工艺操作简便，能更好的控制生产过程，降低生产成本，提高生产效率。

主权项

一种集成的金属-玻璃封接方法，其特征在于：工艺步骤为：(1)将欲封接的可伐合金底盘和引线经丙酮和酒精中清洗，然后烘干；(2)将烘干的可伐合金底盘和引线与硅硼硬玻璃直接装配；(3)装配产品首先在450～700℃的弱氧化气氛中氧化1～50min，然后以5～15℃/min的速率升温，在900～1050℃的弱还原气氛中保温5～60min，然后以5～15℃/min的速率缓慢冷却至250～200℃，最后随炉冷却至室温；在实施步骤(3)时，需要使用可以控制气氛的管式加热炉或者箱式炉，采用的弱氧化气氛为湿氮，所采用的还原气氛为氮气加氢气。