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发明名称 Verfahren zum Erfassen der Schädigung eines Bauelementes durch einen Herstellungsschritt und integrierte Schaltungsanordnungen
摘要
申请公布号 DE102005040494(B4) 申请公布日期 2010.09.02
申请号 DE200510040494 申请日期 2005.08.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MUTH, WERNER
分类号 H01L21/66;H01L23/544;H01L23/62 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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