发明名称 奈米碳材合成装置及方法
摘要
申请公布号 TWI329680 申请公布日期 2010.09.01
申请号 TW094122303 申请日期 2005.07.01
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 张耕铭
分类号 C23C16/26 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项 一种奈米碳材合成装置,其包括:一第一真空腔,其包含有一阳极,一排气口,及一可相对于该第一真空腔移动之导电体,所述阳极之材质为纯石墨,或添加有催化剂之石墨复合材料,或添加有催化剂及促进剂之石墨复合材料;一第二真空腔,其包括一第一抽气口,及一控制装置,该第二真空腔藉由一第一阀门与该第一真空腔实现通闭;一第三真空腔,其包括一第二抽气口,该第三真空腔藉由一第二阀门与该第一真空腔实现通闭;一载具,其包括一阴极放置槽,一与该阴极放置槽相连通之电极孔,及一位于该阴极放置槽内之阴极,所述阴极为一石墨块,上述控制装置可将被装载于该第二真空腔之该载具送入该第一真空腔及第三真空腔,当该载具被送至该第一真空腔内一预定位置时,该导电体可穿过上述电极孔与该阴极实现电连接。如申请专利范围第1项所述之奈米碳材合成装置,其中,所述阳极具有一调节装置,用以调节该阳极与阴极之间距。如申请专利范围第1项所述之奈米碳材合成装置,其中,所述第一真空腔包括一与该排气口相对设置之进气口。如申请专利范围第1项所述之奈米碳材合成装置,其中,所述载具包括延伸于其两侧之至少一臂结构。如申请专利范围第1项所述之奈米碳材合成装置,其中,所述控制装置包括推杆。如申请专利范围第1项所述之奈米碳材合成装置,其中,所述催化剂包括铁、钴、镍、碳化铬、镧、钇、及其混合。如申请专利范围第1项所述之奈米碳材合成装置,其中,所述促进剂包括硫及固体硫化物。一种奈米碳材合成方法,其包括以下步骤:将一第一真空腔抽真空至一预定真空度,其包括一阳极及一可相对于该第一真空腔移动之导电体,所述阳极之材质为纯石墨,或添加有催化剂之石墨复合材料,或添加有催化剂及促进剂之石墨复合材料;将一载具装载于一第二真空腔内并对该第二真空腔抽真空至该预定真空度,该第二真空腔藉由一第一阀门与该第一真空腔实现通闭,该载具包括一阴极放置槽,一与该阴极放置槽相连通之电极孔,及一位于该阴极放置槽内之阴极,所述阴极为一石墨块;打开该第一阀门,将该载具送入该第一真空腔之一预定位置,将上述导电体插入该电极孔以使该导电体与该阴极形成电连接;关闭该第一阀门,并在该阳极与该阴极之间进行电弧放电;将一第三真空腔抽真空至该预定真空度,其藉由一第二阀门与该第一真空腔实现通闭;将一待用之载具装载于该第二真空腔内并对该第二真空腔抽真空至该预定真空度;待该第一真空腔内电弧放电完毕后,将该导电体与该载具分离;打开该第一阀门及第二阀门,将待用之载具送入该第一真空腔之该预定位置,同时将已完成电弧放电之载具推出至该第三真空腔;关闭该第一及第二阀门,将上述导电体插入该待用载具之电极孔进行下一次电弧放电;将电弧放电完毕之该载具从该第三真空腔内取出,以获取奈米碳材产物。如申请专利范围第8项所述之奈米碳材合成方法,其中,向该第一真空腔通入一惰性气体之流动方向与电弧放电产生之电流方向一致。如申请专利范围第8项所述之奈米碳材合成方法,其中,所述第一真空腔之腔内压力范围为1~10个大气压。如申请专利范围第9项所述之奈米碳材合成方法,其中,所述惰性气体之流量为30~120cm3/min。如申请专利范围第9项所述之奈米碳材合成方法,其中,所述电流大小为50~500A。如申请专利范围第8项所述之奈米碳材合成方法,其中,向该阳极与阴极间提供一电压系藉由交流电源、直流电源或脉冲电流施加。如申请专利范围第12项所述之奈米碳材合成方法,其中,所述电压之大小为10~35V。
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