| 主权项 |
一种涂布装置，其系具备：架台；设置于架台上，且将基板予以固定的基板台部；设置在架台上，且朝向被固定于基板台部之基板吐出涂布材料的吐出部；使基板台部于架台上滑动移动的电动机部；前述电动机部系具有交互极性不同的方式，且配置成直线状之复数磁铁，与将这些磁铁由两端部押压保持之一对保持部，前述电动机部系由被固定于架台上的定片部与沿着定片部来回滑动移动的可动部所构成，复数磁铁被设置于定片部，可动部系被设置于基板台部的中央部，且具有复数磁铁贯穿的开口，于基板台部的两侧设置一对导向部，各导向部位于可动部之两侧，在架台上设置支持所对应之导向部的导向支柱部。如申请专利范围第1项之涂布装置，其中于可动部内藏复数的线圈。如申请专利范围第1项之涂布装置，其中各磁铁为由内部具有开口部之筒形磁铁所构成，于各筒形磁铁的开口部内插入由非磁性体所构成的中心轴。如申请专利范围第3项之涂布装置，其中一对保持构件为由设置于中心轴之一端部，且与邻接之磁铁接触的接触构件，与设置于中心轴之另一端部，且将邻接之磁铁朝向接触构件押压的押压构件所构成者。如申请专利范围第4项之涂布装置，其中押压构件系装拆自如地被安装于中心轴之另一端部。如申请专利范围第4项之涂布装置，其中围绕复数磁铁之非磁性体制之筒状体被配设于复数磁铁的外周，接触构件被设置于中心轴及筒状体之一端部，押压构件系装拆自如地被安装于中心轴及筒状体之另一端部。如申请专利范围第1项之涂布装置，其中围绕复数磁铁之非磁性体制之筒状体被配设于复数磁铁之外周。如申请专利范围第7项之涂布装置，其中各磁铁为形成环状，且筒状体为由具有与环状磁铁之外周面密接之内周面的圆筒状管所构成者。如申请专利范围第1项之涂布装置，其中磁铁为由稀土类或铁素体等磁铁材料所构成的永久磁铁。如申请专利范围第1项之涂布装置，其中吐出部为具有喷墨头、分散喷嘴、模头或刮刀。如申请专利范围第1项之涂布装置，其中涂布材料为有机半导体材料所构成者。如申请专利范围第11项之涂布装置，其中涂布材料为为有机电致发光材料、有机薄膜电晶体材料、太阳电池材料等之有机半导体材料。一种有机电子元件之制造方法，其系使用具有以下特征之涂布装置之有机电子元件之制造方法，其中前述涂布装置系具备：架台；设置于架台上，且基板予以固定的基板台部；设置在架台上，且朝向被固定于基板台部之基板吐出涂布材料的吐出部；使基板台部于架台上滑动移动的电动机部；前述电动机部系具有交互极性不同的方式，且配置成直线状之复数磁铁，与将这些磁铁由两端部押压保持的一对保持部，前述电动机部系由被固定于架台上的定片部与沿着定片部来回滑动移动的可动部所构成，复数磁铁被设置于定片部，可动部被设置于基板台部的中央部，且具有复数磁铁贯穿的开口，于基板台部的两侧设置一对导向部，各导向部相对于可动部，位于其两侧，在架台上设置支持所对应之导向部的导向支柱部，其特征系使用前述涂布装置将涂布材料涂布于基板上，形成有机层，制造有机电子元件的步骤所构成。如申请专利范围第13项之有机电子元件之制造方法，其中该有机电子元件为由有机半导体元件所构成。如申请专利范围第14项之有机电子元件之制造方法，其中该有机电子元件为有机电致发光材料元件、有机薄膜电晶体、太阳电池等之有机半导体元件。如申请专利范围第13项之有机电子元件之制造方法，其中该有机层之膜厚误差为2%以下。如申请专利范围第13项之有机电子元件之制造方法，其中该有机层之膜厚为10nm~1000nm。 |
