发明名称 Extreme UV radiation focusing mirror and extreme UV radiation source device
摘要
申请公布号 EP1848004(A3) 申请公布日期 2010.09.01
申请号 EP20070007808 申请日期 2007.04.17
申请人 USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 KABUKI, KIYOYUKI;SATO, HIROTO
分类号 G21K1/06;G03F7/20 主分类号 G21K1/06
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利