一种等离子体化学气相沉积设备中的进气控制装置

摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池生产设备中的进气控制装置，具体的说是一种等离子体化学气相沉积设备的进气控制装置。该进气控制装置包括通气管路、温度探棒、加热探棒、电磁阀、PLC控制器，所述的温度探棒、加热探捧和电磁阀设置在进气管内，温度探棒、加热探捧和电磁阀与PLC控制器电连接。本实用新型由于采用上述结构和独特的控制方法，使控制气体的进气量能够更加精确，控制方便，便于对工艺参数的调节。达到了对生产线对进气控制的目的。

主权项

一种等离子体化学气相沉积设备中的进气控制装置，其特征在于：该进气控制装置包括通气管路(1)、温度探棒(2)、加热探棒(3)、电磁阀(4)、PLC控制器(5)，所述的温度探棒(2)、加热探捧(3)和电磁阀(4)设置在进气管内，温度探棒(2)、加热探捧(3)和电磁阀(4)与PLC控制器(5)电连接。