发明名称 | 合成石英玻璃基板用抛光剂 | ||
摘要 | 本发明公开了合成石英玻璃基板用抛光剂,其特征在于含有胶体二氧化硅等的胶体溶液,和聚羧酸系聚合物、酸性氨基酸、酚类或糖胺聚糖,所述胶体溶液具有20-50质量%的胶体浓度。 | ||
申请公布号 | CN101821058A | 申请公布日期 | 2010.09.01 |
申请号 | CN200980100696.2 | 申请日期 | 2009.05.27 |
申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 原田大实;竹内正树;柴野由纪夫;上田修平;渡部厚 |
分类号 | B24B37/00(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/00(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 李帆 |
主权项 | 一种合成石英玻璃基板用抛光浆料,其包含胶体溶液以及选自羧酸系聚合物、酸性氨基酸、酚类和糖胺聚糖的组分,所述胶体溶液具有20-50质量%的胶体浓度。 | ||
地址 | 日本东京 |