发明名称 合成石英玻璃基板用抛光剂
摘要 本发明公开了合成石英玻璃基板用抛光剂,其特征在于含有胶体二氧化硅等的胶体溶液,和聚羧酸系聚合物、酸性氨基酸、酚类或糖胺聚糖,所述胶体溶液具有20-50质量%的胶体浓度。
申请公布号 CN101821058A 申请公布日期 2010.09.01
申请号 CN200980100696.2 申请日期 2009.05.27
申请人 信越化学工业株式会社 发明人 原田大实;竹内正树;柴野由纪夫;上田修平;渡部厚
分类号 B24B37/00(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I 主分类号 B24B37/00(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 李帆
主权项 一种合成石英玻璃基板用抛光浆料,其包含胶体溶液以及选自羧酸系聚合物、酸性氨基酸、酚类和糖胺聚糖的组分,所述胶体溶液具有20-50质量%的胶体浓度。
地址 日本东京