硅锭的抛光方法、系统及抛光板

摘要

本发明提出一种硅锭的抛光方法，包括以下步骤：提供硅锭；移动传动杆以使抛光板与所述硅锭的上表面接触，并通过所述传动杆施加预设的压力，其中，所述抛光板具有至少一个用于抛光液导入的导入孔和与所述导入孔相连的至少一个导流槽；将抛光液导入到所述抛光板的导入孔中，所述抛光液通过所述导入孔和导流槽流入所述抛光板的抛光布与硅锭的抛光界面；和水平移动所述硅锭并旋转所述传动杆以对所述硅锭的上表面进行抛光。本发明采用湿法抛光技术对硅锭进行抛光，可以增加抛光去除量，改善硅锭的表面损伤层，因此本发明不仅能够降低生产成本，还能提高抛光效果。

主权项

一种硅锭的抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：提供硅锭；移动传动杆以使抛光板与所述硅锭的上表面接触，并通过所述传动杆施加预设的压力，其中，所述抛光板具有至少一个用于抛光液导入的导入孔和与所述导入孔相连的至少一个导流槽；将抛光液导入到所述抛光板的导入孔中，所述抛光液通过所述导入孔和导流槽流入所述抛光板的抛光布与硅锭的抛光界面；和水平移动所述硅锭并旋转所述传动杆以对所述硅锭的上表面进行抛光。