一种单晶炉的石墨热场

摘要

本实用新型涉及一种单晶炉的石墨热场，用于拉制单晶硅棒，其包括保温筒、导流筒、加热器、石墨坩埚和石英坩埚，石英坩埚位于石墨坩埚内，石墨坩埚位于加热器内及加热器电极脚之上，保温筒位于最外层，导流筒位于石英坩埚之上及保温筒内，且在加热器电极脚之上，以及石墨坩埚之间设有防护垫，防护垫完全覆盖加热器电极脚。采用本实用新型，当发生漏硅现象，液态硅会漏到防护垫上，从而保护加热器不受损坏，降低生产成本，有利于提高生产效率。

主权项

一种单晶炉的石墨热场，包括保温筒、导流筒、加热器、石墨坩埚和石英坩埚，石英坩埚位于石墨坩埚内，石墨坩埚位于加热器内及加热器电极脚之上，保温筒位于最外层，导流筒位于石英坩埚之上及保温筒内，其特征在于在加热器电极脚之上，以及石墨坩埚之间设有防护垫。