发明名称 VACUUM COATING INSTALLATION WITH TRANSPORT ROLLERS FOR THE TRANSPORT OF A PLANAR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100978700(B1) 申请公布日期 2010.08.30
申请号 KR20070059800 申请日期 2007.06.19
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/00;C23C14/56 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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