发明名称 High angular intensity schottky electron point source
摘要
申请公布号 EP1359599(B1) 申请公布日期 2010.08.25
申请号 EP20020080322 申请日期 2002.12.17
申请人 FEI COMPANY 发明人 SCHWIND, GREGORY A.;JUN, DAVID S.;MAGERA, GERALD G.
分类号 H01J9/04;H01J9/02;H01J1/14;H01J1/308;H01J37/073 主分类号 H01J9/04
代理机构 代理人
主权项
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