一种标准气体配气仪

摘要

本发明公开了一种标准气体配气仪，包括至少两个作为标准气体输入通道的进气快速插头、与每个进气快速插头各相连通的质量流量控制器和与每个质量流量控制器输出端均相连通的气体混合管路，所述气体混合管路输出端与样气输出通路端相连通，其中一个进气快速插头与相连通的质量流量控制器之间接有压缩空气发生器组件支路，所述压缩空气发生器组件支路包括微型空气泵、与微型空气泵出气口相连的储气罐和实时监测储气罐内部压力的压力传感器，所述压缩空气发生器组件支路由电磁阀控制导通。本发明能够实现高浓度标准气体与稀释气体种类的随时快速切换，并能准确控制任一输入通道气体流量，以得到所要求精确稀释比例的标准气体配气仪。

主权项

一种标准气体配气仪，其特征在于，包括至少两个作为标准气体输入通道的进气快速插头(1)、与每个进气快速插头(1)各相连通的质量流量控制器(2)和与每个质量流量控制器(2)输出端均相连通的气体混合管路(3)，所述气体混合管路(3)输出端与样气输出通路端(4)相连通，其中一个进气快速插头(1)与相连通的质量流量控制器(2)之间接有压缩空气发生器组件支路，所述压缩空气发生器组件支路包括微型空气泵(7)、与微型空气泵(7)出气口相连的储气罐(9)和实时监测储气罐内部压力的压力传感器(8)，所述压缩空气发生器组件支路由电磁阀(11)控制导通。