发明名称 Nachführtyp-Laserinterferometer
摘要 Es wird ein Nachführtyp-Laserinterferometer (1) bereitgestellt. Eine Musteremissions-Steuerungseinheit (54) steuert einen Änderungsmechanismus (121) so, dass Licht entlang eines vorgegebenen Musters emittiert wird, wenn von einer ersten Beurteilungseinheit (521) beurteilt wird, dass zumindest eine der Lichtempfangsmengen an einer ersten und zweiten Lichtempfangseinheit (413, 422) nicht größer als ein erster Schwellwert ist. Dann veranlasst eine Nachführ-Steuerungseinheit (51) den Änderungsmechanismus (121), einem Retroreflektor (11) weiter zu verfolgen, wenn von einer zweiten Beurteilungseinheit (522) beurteilt wird, dass während einer Zeitdauer, in der die Musteremissions-Steuerungseinheit (54) den Änderungsmechanismus (121) für die Emission von Licht entlang des Musters steuert, beide Lichtempfangsmengen an der ersten und zweiten Lichtempfangseinheit größer als zweite Schwellwerte sind. Das Interferometer (1) emittiert Licht entlang des Musters, um nach dem Retroreflektor (11) zu suchen, wenn es ihn aus dem Blick verliert. Bei einer Erfassung kann das Interferometer (1) den Reflektor (11) wieder weiterverfolgen und die Messung wiederaufnehmen.
申请公布号 DE102010002035(A1) 申请公布日期 2010.08.19
申请号 DE201010002035 申请日期 2010.02.17
申请人 MITUTOYO CORP. 发明人 HARA, SHINICHI
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利