一种无损检测非平面物品表面的装置

摘要

本实用新型涉及一种无损检测非平面物品表面的装置，其特征在于：在激光器的光轴上与被测物品之间设置显微物镜；在被测样品反射光束的中心轴线上依次设置剪切角固定的光楔、柱透镜和线阵CCD；线阵CCD固定于二维方向移动微位移平台上，线阵CCD采集的图像信号输出至计算机，计算机的控制信号输出至二维方向移动微位移平台控制二维方向移动微位移平台的移动。利用线阵CCD推扫方法，可以根据待测样品表面设计相应的微位移平台的移动轨道，沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象，从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。

主权项

一种无损检测非平面物品表面的装置，其特征在于包括激光器(1)、显微物镜(2)，剪切角固定的光楔(4)，柱透镜(5)，线阵CCD(6)，二维方向移动微位移平台(7)和计算机(8)；激光器(1)的光轴与被测物品的中心轴线呈0.01°～20°角度放置，在激光器(1)的光轴上与被测物品之间设置显微物镜(2)；在被测样品反射光束的中心轴线上依次设置剪切角固定的光楔(4)、柱透镜(5)和线阵CCD(6)；线阵CCD(6)固定于二维方向移动微位移平台(7)上，线阵CCD(6)采集的图像信号输出至计算机(8)，计算机的控制信号输出至二维方向移动微位移平台(7)控制二维方向移动微位移平台(7)的移动；所述的线阵CCD(6)位于样品通过柱透镜5)所成像的像平面上；所述的剪切角固定的光楔(4)紧贴柱透镜(5)放置，调整经过剪切角固定的光楔(4)的两束光相对于待测样品轴线对称，且两束光之间角度为0.01°～20°；调整所述显微物镜(2)距被测样品的位置使通过显微物镜(2)扩束后的光束照明整个被测样品表面。