具有引入粗化层的高亮度铝镓铟磷基发光二极管及其制作方法

摘要

一种具有引入粗化层的高亮度铝镓铟磷基发光二极管及其制作方法，在常规铝镓铟磷基发光二极管的基础上，通过键合和衬底去除，将一粗化的n型铝镓铟磷基外延层引入并结合到原有发光二极管结构中，第一外延片就是常规铝镓铟磷基发光二极管，制作第二外延片提供可粗化外延层，为了使可粗化外延层结合到第一外延片的第一键合窗口层表面，在两者之间提供第二键合窗口层，并通过高温高压条件下直接键合方式，将第一键合窗口层和第二键合窗口层结合形成键合，本发明成功地将湿法粗化n型铝镓铟磷基外延层应用于常规铝镓铟磷基发光二极管，大幅度提升了取光效率；与倒装铝镓铟磷基发光二极管相比，本发明的制作工艺简单且不存在焊线坑洞问题。

主权项

具有引入粗化层的高亮度铝镓铟磷基发光二极管，其特征在于：一永久衬底，其具有两个主表面，即第一主表面和第二主表面；一缓冲层形成于永久衬底的第一主表面之上；一n型铝镓铟磷基外延层位于缓冲层之上；一有源层位于n型铝镓铟磷基外延层之上；一p型铝镓铟磷基外延层位于有源层之上；一第一键合窗口层位于p型铝镓铟磷基外延层之上，其材料为p型磷化镓；一第二键合窗口层位于第一键合窗口层的上，其材料为p型磷化镓；一粗化外延层位于第二键合窗口层的部分区域之上，其材料为n型铝镓铟磷或n型铝铟磷；一p电极位于第二键合窗口层的另一部分区域之上；一n电极位于永久衬底的第二主表面之上。