直线电机驱动的气悬浮运动平台

摘要

本发明公开了一种直线电机驱动的气悬浮运动平台，解决了现有运动平台存在的结构刚度低，动态响应慢的问题。包括纵截面为山字形的花岗岩基座(1)，在左、中、右三个承重台上方设置有Y轴运动平台(5)，在Y轴运动平台(5)的下表面的左、中、右位置均分别固定设置的Y轴承重气垫(8)，在中承重台(3)的左侧面固定设置有第一Y轴直线电机(9)，在第一Y轴直线电机(9)的动子与Y轴运动平台(5)固定连接，并设置有第一Y轴光栅读数头(15)，在中承重台(3)的右侧面固定设置有第二Y轴直线电机(10)，第二Y轴直线电机(10)的动子与Y轴运动平台(5)固定连接，本发明采用直线电机驱动，气悬浮平台结构，结构简单，性价比高。

主权项

一种直线电机驱动的气悬浮运动平台，包括纵截面为山字形的花岗岩基座(1)，在山字形的花岗岩基座(1)的三个顶面上分别固定设置有Y轴运动平台的左承重台(2)、Y轴运动平台的中承重台(3)和Y轴运动平台的右承重台(4)，在左、中、右三个承重台上方设置有Y轴运动平台(5)，其特征在于，在所述的Y轴运动平台(5)的下表面的左、中、右位置均分别固定设置有Y轴承重气垫(8)，Y轴承重气垫(8)的表面设置有压缩气喷出口，Y轴承重气垫(8)中的压缩气体从这些压缩气喷出口中喷出将Y轴运动平台(5)悬浮在左、中、右三个承重台上方，在Y轴运动平台(5)的下表面的四个角的位置分别固定设置有Y轴导向气垫固定块(6)，在Y轴导向气垫固定块(6)的侧面固定设置有Y轴导向气垫(7)，Y轴运动平台(5)的下表面的左侧的两个Y轴导向气垫(7)与左承重台(2)的右内侧面悬浮导向配合，Y轴运动平台(5)的下表面的右侧的两个Y轴导向气垫(7)与右承重台(4)的左内侧面悬浮导向配合，在中承重台(3)的左侧面固定设置有第一Y轴直线电机(9)，第一Y轴直线电机(9)的动子(11)上面固定设置有第一Y轴连接块(13)，第一Y轴连接块(13)与Y轴运动平台(5)的下表面固定连接在一起，在第一Y轴直线电机(9)的动子(11)上还设置有第一Y轴光栅读数头(15)，在第一Y轴光栅读数头(15)下方的花岗岩基座(1)上设置有第一Y轴光栅读数头(15)的光栅尺，第一Y轴光栅读数头(15)与第一Y轴直线电机(9)电连接在一起，在中承重台(3)的右侧面固定设置有第二Y轴直线电机(10)，第二Y轴直线电机(10)的动子(12)上面固定设置有第二Y轴连接块(14)，第二Y轴连接块(14)与Y轴运动平台(5)的下表面固定连接在一起，在第二Y轴直线电机(10)的动子(12)上还设置有第二Y轴光栅读数头(16)，在第二Y轴光栅读数头(16)下方的花岗岩基座(1)上设置有第二Y轴光栅读数头(16)的光栅尺，第二Y轴光栅读数头(16)与第二Y轴直线电机(10)电连接在一起。