光学机构水平调整方法及其装置

摘要

本发明涉及一种光学机构水平调整方法及其装置，其提供包括高度测量装置、运算控制单元、物件承载装置以及待测物件所构成的光学机构水平调整装置，以进行该待测物件在各轴倾斜角的表面形貌测量，并计算或拟合该待测物件在不同姿态下的平面方程式，再透过几何关系，由平面方程式决定旋转机构的旋转中心，最后获得调平后的坐标是与初始坐标之间的转换关系，使得测量无须回复到旋转中心，才能执行调平，因此可在物件平台上任何地方调平。

主权项

1.一种光学机构水平调整方法，其特征在于包括下列步骤：提供运算控制单元、影像撷取装置以及粗略高度传感器；将待测物件放置在物件承载装置的物件平台上；在该待测物件的待测平面上的视野范围中定义至少三个待测点，并透过该运算控制单元、该影像撷取装置以及该粗略高度传感器获得该些待测点的水平坐标参数以及高度坐标参数；该运算控制单元根据该些待测点的水平坐标参数与高度坐标参数演算该待测物件的待测平面的平面方程式，且该平面方程式表示为ax+by+cz＝d，其中该x轴位置参数与y轴位置参数分别定义为水平面上两个正交方向上的位置参数，该z轴位置参数则是垂直方向上的位置参数；该运算控制单元控制该物件承载装置，使得该物件平台所承载的待测物件以x轴旋转第一旋转角θ₁，该第一旋转角θ₁系为该运算控制单元控制该物件承载装置，使得该物件平台所承载的待测物件以y轴旋转第二旋转角θ₂，该第二旋转角θ₂系为该运算控制单元获得旋转中心位置；该运算控制单元控制该物件承载装置的高度调整装置，直到旋转中心达到聚焦高度位置参数；以及该运算控制单元获得调平后的坐标是与初始坐标之间的转换关系。