MEMS麦克风

摘要

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，它包括：带有进声孔的第一电路板、第二电路板、连接两个电路板并与两个电路板组合形成一腔室的侧壁、及位于腔室内并安装在第一电路板上的MEMS芯片，MEMS芯片设有声腔，其中，所述侧壁包括第一部分和与之相连的第二部分，第一部分在平行于第一电路板的方向上的宽度比第二部分的宽度大，在该侧壁的第一部分上设有自靠近第一电路板的一端延伸至第二电路板的金属化孔。在第一电路板及侧壁的表面还设有覆盖其上的金属外壳，可以更好地提高抗干扰能力。本产品MEMS麦克风的结构设计合理，可以很好的提高话音质量，且其三层板的设计与现有技术的工艺通用，有很强的可行性。

主权项

一种MEMS麦克风，其包括：带有进声孔的第一电路板、第二电路板、连接两个电路板并与两个电路板组合形成一腔室的侧壁、及位于腔室内并安装在第一电路板上的MEMS芯片，MEMS芯片设有声腔，其特征在于：所述侧壁包括第一部分和与之相连的第二部分，第一部分在平行于第一电路板的方向上的宽度比第二部分的宽度大，在该侧壁的第一部分上设有自靠近第一电路板的一端延伸至第二电路板的金属化孔。