| 发明名称 |
Substrate for pattern formation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2420663(B) |
申请公布日期 |
2010.08.04 |
| 申请号 |
GB20050022976 |
申请日期 |
2005.11.10 |
| 申请人 |
DAI NIPPON PRINTING CO., LTD. |
发明人 |
YOSHIHIRO KOBAYASHI |
| 分类号 |
H01L23/544;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/075;H01L21/66;H01L51/00;H01L51/48;H01L51/56 |
主分类号 |
H01L23/544 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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