| 发明名称 |
SPUTTERING TARGET, TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM, AND THEIR MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100087052(A) |
申请公布日期 |
2010.08.02 |
| 申请号 |
KR20107016108 |
申请日期 |
2002.07.08 |
| 申请人 |
IDEMITSU KOSAN CO., LTD. |
发明人 |
INOUE KAZUYOSHI;MATSUZAKI SHIGEO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/08;C23C14/52;H01L21/203;H01L31/18 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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