基板吸附装置;SUBSTRATE ABSORPTION DEVICE

摘要

护壳1开口部1b内的软管部材15上，载置着设有护壳1开口部内壁与吸附部16a至少3处点接触之半球面状并弯曲的接触面部16c的吸附垫16，该吸附垫16与摺动部材9之间则张架着细线24。

主权项

1.一种基板吸附装置，其具备：护壳：筒状的中空形成；及吸附垫：设于前述护壳之中空状内可上下移动，且可于与护壳轴十字交叉的方向能摇动头部；及吸附垫支撑部材：在前述护壳内，且设有与前述空气引导通路用以弹性支持吸附垫；及吸引装置：进行上述吸附垫支撑部材的空气引导通路的连结以进行吸引动作；及停止杆：依吸引装置的吸引动作来限制上述吸附垫的下降；由以上各元件所构成为其特征者。 ;2.如申请专利范围第1.项所述之基板吸附装置，其中所述依吸引装置的吸引动作来限制上述吸附垫的下降时，亦矫正吸附垫的倾斜成水平状态为其特征者。 ;3.如申请专利范围第1项所述之基板吸附装置，其中所述之吸附垫具有一外径较护壳的开口部大的吸附部，因该吸附部兼作停止杆用，故吸引装置的吸引动作进行的同时，上述护壳的开口端亦用来限制吸附垫的下降，吸附部利用与护壳开口端的面接触矫正吸附垫的倾斜成水平状态为其特征者。 ;4.如申请专利范围第1项所述之基板吸附装置，其中所述之停止杆在护壳内的吸附垫的底部设有具平面状吸附面的吸附部，吸引装置的吸引动作进行的同时用吸附面限制上述吸附垫的下降，吸附部的底部利用与吸附面的接触矫正吸附垫的倾斜成水平状态为其特征者。 ;5.如申请专利范围第1项所述之基板吸附装置，其中所述之吸附垫系由具有较护壳的前端更突出的平面状上形成吸着面的吸附部；及与吸附部一体成形与护壳前端部的内壁面至少有3点支持接触的接触面部所成为其特征者。 ;6.如申请专利范围第5项所述之基板吸附装置，其中所述之接触面部，其系由与护壳的内壁面的圆周方向的接触曲面所形成为其特征者。 ;7.如申请专利范围第5项所述之基板吸附装置，其中所述之接触面，其在护壳的内壁面对应周围方向的线接触剖面形成三角形的突起部为其特征者。 ;8.如申请专利范围第5项所述之基板吸附装置，其中所述之接触面部，其在护壳的内壁面对应周围方向的线接触剖面形成半球状的突起部为其特征者。 ;9.如申请专利范围第1项所述之基板吸附装置，其中所述之接触面，为在护壳的内壁面对应周围方向具有三个以上的点接触所形成突起部为其特征者。 ;10.如申请专利范围第8项所述之基板吸附装置，其中所述之吸附垫，系保持吸附垫不自护壳的前端中空部拔出而利用吸附垫固定部材将之保持在前端中空部为其特征者。 ;11.如申请专利范围第10项所述之基板吸附装置，其中所述吸附垫固定部材，系由设在吸附垫的第一支撑部，及设于护壳内吸附垫固定部材的空气引导通路的第二支撑部，及连结第一、第二支撑部间的线状连结部材所构成为其特征者。 ;12.如申请专利范围第10项所述之基板吸附装置，其中所述连结部材系由吸附垫往复水平地调整对吸附垫支撑部的所施力的细绳所成，藉该细绳缚绑的情况来调整产生的力量为其特征者。 ;13.如申请专利范围第10项所述之基板吸附装置，其中所述之连结部材，系由具有有扭曲刚性可防止吸附垫回转的钢丝所构成，该钢丝的两端固定在第一及第二支撑部为其特征者。 ;14.如申请专利范围第1项所述之基板吸附装置，其中上述护壳上吸附垫及附垫支撑部一体沿着护壳内面移动，可调整自前端面突出的吸附垫的吸附面高度的具有较护壳的前端更突出的平面状上形成吸附面的吸附部；及与吸附部一体成形与护壳前端部的内壁面至少有3点支持接触的接触面部所成设有吸附垫，而吸附垫固定部材与前述吸附垫固定手段形成一体并使之在前述护壳之前述中空形状内移动，调整相对于前述护壳端部之吸附垫的吸附面高度调整装置为其特征者。 ;15.如申请专利范围第14项所述之基板吸附装置，其中所述之高度调整装置系由护壳中空部内壁面内所形成的螺丝部、及藉由螺合于该螺丝且可回转的吸附垫支撑部及与该吸附垫成一体的可在护壳内上下移动的环状部材所构成为其特征者。 ;16.如申请专利范围第1项所述之基板吸附装置，其中所述之吸附垫支撑部材系由密贴于吸附垫的内面的蛇腹屈曲部上部所形成的橡胶制软管部材所构成、及利用上述吸引装置的吸引动作时的负压，因为蛇腹状屈曲部的收缩，吸附在吸附对象基板的吸附垫在护壳内下降来决定吸附对象基板在基准平面的位置为其特征者。;图一系本发明基板吸附装置的第一实施例构成图。;图二系本发明基板吸附装置吸附垫的吸附部的另一实例的构成图。;图三系基板吸附装置的第一及第二支持板的构成图。;图四A系基板吸附装置的吸附垫开始模拟产生弯曲的玻璃基板状态的表示图。;图四B系基板吸附装置的吸附垫与产生弯曲的玻璃基板的吸附状态的表示图。;图四C系基板吸附装置的吸附垫与产生弯曲的玻璃基板吸附时矫正动作表示图。;图五系适用本发明基板吸附装置的空气浮上搬送装置的上视构成图。;图六系适用本发明基板吸附装置的空气浮上搬送装置的侧视构成图。;图七系适用本发明基板吸附装置的大型基板检查装置检查步骤的构成图。;图八系本发明基板吸附装置的第二实施例特征部份的构成图。;图九A系本发明基板吸附装置所使用钢线的变形例的构成图。;图九B系本发明基板吸附装置所使用钢线的另一变形例的构成图。;图十系本发明基板吸附装置所之吸附垫的变形例的构成图。;图十一系本发明基板吸附装置所的第三实施例的构成图。;图十二A系基板吸附装置的吸附垫与玻璃基板开始吸附状态的表示图。;图十二B系基板吸附装置的吸附垫与玻璃基板正当接触状态的表示图。;图十二C系基板吸附装置的吸附垫与玻璃基板吸附状态的表示图。;图十三系本发明基板吸附装置的第四实施例特征部份的构成图。;图十四系适用本发明基板吸附装置的大型基板搬送用机械手臂的构成图。;图十五系本发明第五实施例中适用第一及第二基板吸附装置的空气浮上搬送装置的构成图。;图十六系表示本发明基板吸附装置使用的空气真空吸引系统图。;图十七系适用于本发明第六实施例中基板吸附装置的空气浮上搬送装置的构成图。;图十八系适用于本发明第六实施例中基板吸附装置的空气浮上搬送装置的另一构成图。;图十九系表示本发明基板吸附装置使用的空气真空吸引系统的另一变形例。;图二十A系表示吸附垫的接触面形状的变形图。;图二十B系表示吸附垫的接触面形状的另一变形图。;图二十C系表示吸附垫的接触面形状的又一变形图。;图二十D系表示吸附垫的接触面形状的再一变形图。;图二十E系表示吸附垫的接触面形状的其他变形图。