用于具有主动柔顺性的测试头的操纵器

摘要

一种支承像电子测试头那样的负载的设备。力传感器检测从负载接收的力，该力来源于所述负载不平衡而绕所述负载的转轴产生转矩。力源响应力传感器检测的力，提供相对于负载的反力。还提供了一种把固定在测试头操纵器中的电子测试头与电子器件处理器对接的方法。该对接方法包括测量沿着或绕测试头操纵器的多根运动轴的至少一根的不平衡力的大小，以及为不平衡力提供反力。

主权项

一种将测试头与处理器对接的方法，所述方法包括如下步骤：测量沿着所述测试头的多根运动轴的至少一根的不平衡力；向所述不平衡力提供反力；以及将附在所述测试头和所述处理器之一上的多个对准结构的至少一个与附在所述测试头和所述处理器另一个上的多个对准插孔的至少一个对准，所述对准步骤是提供所述反力的同时完成的。