用于湿式工艺的基板输送装置

摘要

本实用新型公开了一种用于湿式工艺的基板输送装置，其包含一输送载板以及一输送轮组，该输送载板以其上的基板定位孔，使基板可置放其中，并为基板定位孔周边孔壁的多个止挡凸部支撑定位，所述输送轮组用以设置于该湿工艺设备中，提供输送载板输送的推力，通过此，利用该输送载板作为基板进行刻蚀、清洗等湿式工艺输送时的载具，使基板通过该输送载板于输送轮上移动，而避免基板与输送轮直接接触磨擦而受损的情况；或者，亦可增设排列于输送轮组上方的限位轮组，防止基板于湿工艺中受到由下往上的力量而上浮脱离输送载板。

主权项

一种用于湿式工艺的基板输送装置，其特征在于包含：一输送载板，包含一板体，该板体中形成至少一基板定位孔，于所述基板定位孔周边孔壁上形成多个止挡凸部，该多个止挡凸部顶缘至板体顶面间具有一间距，提供基板置入基板定位孔中，并为该多个止挡凸部支撑定位；以及多个输送轮组，所述输送轮组包含二输送轮及一传动轴，每一输送轮组上的二输送轮间隔组设传动轴上，该多个输送轮组呈一列平行排列，用以外接动力供应源及提供输送载板置于其上，而以输送轮与输送载板接触磨擦而输送该承载基板的输送载板。