基材支撑衬套

摘要

本发明提供一种用来支撑处理室内基材的设备。在一个方案中，提供一个基材支撑件，该基材支撑件包含孔穿通其间的壳体，一支撑销至少部分设置在该孔内，及数个轴承件，它们被设置在壳体周围。在一个方案中，这些轴承件包含一孔穿通其间的滚子，一成形的(contoured)外表面，及一个设置成至少部分穿过该孔的轴。在另一方案中，这些轴承件包含一球组件，其具有一较大的球形件及四个被安排在较大的球形件周围的较小球形件。

主权项

一种在等离子处理室内使用的基材支撑件，包含：圆柱形衬套，具有纵向贯穿该衬套形成的孔和数个贯穿该衬套形成的窗口，数个窗口中的每一个在衬套的第一端和第二端径向贯穿该衬套而形成，一或多个切除部形成在该衬套的外表面和该数个窗口的至少一个之间；支撑销，至少部分地设置在该孔内，该支撑销具有具第一直径的第一端和具第二直径的第二端，该第一直径比第二直径大；及数个轴承件，至少部分地设置在每一个窗口中并配置成接触并协助该支撑销沿具第二直径的支撑销的长度方向的轴向移动。