三室两锁太阳能集热管镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，它由三个圆形真空室1、2、3串连，室与室之间用真空锁隔离，左右室为不暴露大气的溅射室，中间是装卸工件室，每个真空室内都有一套工件架12、22、32、一个为工件架运动提供动力的旋转驱动机构13、23、33和一个直径相同的固定环形轨道14、24、34，左真空室1的环形轨道14上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构141、142，中真空室2的环形轨道上有四个使工件架改变运动方向用的摆动机构241、242、243、244，室内还设置了两套升降导轨25、26，右真空室3的环形轨道34上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构341、342。本实用新型结构新颖，使用方便，能有效提高产品质量和生产效率。

主权项

一种三室两锁太阳能集热管镀膜机，其特征是包括有左、中、右顺序排开的三个真空室，左真空室和右真空室是溅射镀膜室，其内分别设置有旋转磁控靶和布气系统，中真空室是装卸工件室，左、中、右三个真空室之间分别用真空锁连接，每个真空室都有独立的真空系统和独立的真空测量系统，每个真空室内都有一套工件架、一个为工件架运动提供动力的旋转驱动机构和一个直径相同的固定环形轨道，左真空室的环形轨道上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构，中真空室的环形轨道上有四个使工件架改变运动方向用的摆动机构，室内还设置了两套升降导轨，右真空室的环形轨道上有两个使工件架改变运动方向用的摆动机构。