| 发明名称 |
INSTRUMENT ZUR ABERRATIONSKORREKTUR FÜR EIN KATHODENLINSENMIKROSKOP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT472822(T) |
申请公布日期 |
2010.07.15 |
| 申请号 |
AT20070756958T |
申请日期 |
2007.02.14 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
TROMP, RUDOLF |
| 分类号 |
H01J37/05;G01N23/20;G01N23/227;H01J37/153 |
主分类号 |
H01J37/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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