| 发明名称 | 直拉硅单晶炉炉盖 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种改进的直拉硅单晶炉炉盖，包括设置在炉盖顶部的进气口，该炉盖下方、进气口的边缘处连接有挡流装置。挡流装置以合理角度插入或采用活动铰链连接于炉盖上。生长单晶硅过程用利用该改进的直拉硅单晶炉炉盖可以达到保护单晶表面免于污染，促进硅单晶生长，提高热场元件寿命的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN101775640A | 申请公布日期 | 2010.07.14 |
| 申请号 | CN200910175319.7 | 申请日期 | 2009.12.14 |
| 申请人 | 晶龙实业集团有限公司;宁晋晶兴电子材料有限公司 | 发明人 | 刘彬国;张呈沛;何京辉 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人 | 米文智 |
| 主权项 | 一种直拉硅单晶炉炉盖，包括设置在炉盖(1)顶部的进气口(2)，其特征在于：在炉盖(1)下方、进气口(2)的边缘连接有挡流装置(3)。 | ||
| 地址 | 055550河北省宁晋县高新技术开发区 | ||